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產(chǎn)品中心

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微型高溫探針臺

產(chǎn)品簡介

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T,0-400℃溫控,主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測量。

產(chǎn)品型號:KT-Z400MR4T
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2042
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品牌鄭科探


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微型高溫探針臺KT-Z400MR4T

系列微型真空探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺,主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測 量,還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進行電學(xué)測量評估,是實驗室測量薄膜材料電學(xué)性能工具,廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成


為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器,很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。


微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數(shù)

真空腔體

類型

高溫型室溫到350

高低溫型 室溫到350  室溫到-196

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 1.5KG     鋁合金材質(zhì) 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺測溫誤差

±0.5

樣品臺升溫速率

高溫100/min 最大值   低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿)





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